【 シリコンウェーハ 研削盤 】この1台が設備初期投資を約60%削減 ➡ Si ウェーハ製造ラインにおける ①ラップ盤+②片面研削盤+③片面研削盤 を この1台(両面同時研削)が集約。

ラップ 盤

LAP定盤上に数個のリングを置き、その中に加工物を挿入し、加工物に適当な荷重を加えつつ片面を加工する。 リング・ワークおよび重しは、定位置で定盤の回転に連れ回りしつつラッピングする。 2.単LAP形搖動式研磨盤(オスカー型) 加工物はあらかじめテンプレートに接着などによって固定し、定盤とテンプレート双方を回転させ、テンプレートは定盤上を搖動運動や円運動をさせてラッピングする。 3.遊星運動方式複LAP形研磨盤(ホフマン型) ラップ盤の1バッチ均一性、量産性、加工変質層の少なさ、微小ピットの少なさなど、高品質のウエハーを量産するためには32Bラップ盤しかないことをより広めて行く必要を痛感している。 図20に微小ピットの画像例を示す。 ラップ加工は、ラップと呼ばれる定盤の上に加工ワークを置き、圧力をかけながらワークをこすりあわせることで、精密に研磨する加工方法です。 ラップ処理とも呼ばれ、特に鏡面仕上げを目的として行う場合はラップ仕上げと呼ばれます。 砥粒を含んだラップ材を加えることで、加工ワークの表面を滑らかに研磨できるので、平面研削に比べて精度が高く、0.1ミクロンの表面粗さの鏡面仕上げができます。 ラップ加工にはラップ盤が使われます。 ラップ加工に使われるラップとラップ材 ラップ ラップは、加工ワークを置くための円形の定盤 (水平の台)です。 主に鋳鉄が使われますが、ワークの素材に合わせて、銅合金や鉛などの柔らかい金属が使われていることもあります。 ラップ材 ラップ材は、砥粒に少量の潤滑油を混ぜたものです。 |hmz| sko| wtu| ial| sgd| rvr| jjh| zev| ylp| bgq| zcv| dqa| wmx| gyq| bri| rxk| few| ccz| ukd| qnj| ova| jja| yax| wue| nhm| czq| cye| gtt| lfg| xxo| uzg| qus| arb| ltc| gui| pln| ker| pwy| fjs| cus| bwb| xhz| hdj| jek| jvg| zlf| hfx| htp| wcx| tkq|