スマートフォン等モバイル機器や自動車用部品に多く用いられる、MEMSデバイス/システムの製造に大きく貢献しているのがニコンエンジニアリングの露光装置「MEMSステッパー」です。 MEMS技術はスマートフォン、タブレット、デジカメ、カーナビ、プロジェクタ、社会インフラモニタリング、健康モニタリングなど身近なところで使用されています。 ※MEMSとは、Micro Electro Mechanical Systemsの略で、半導体製造技術やレーザ加工技術等、各種の微細加工技術を応用し微小な電気要素と機械要素をひとつの基板上に組込んだセンサ、アクチュエータ等のデバイス / システムのこと。 1980. Announces and starts shipment of NSR-1010G (resolution: 1.0 µm (1,000 nm)), first stepper produced in Japan. 1981. Zao Nikon Co., Ltd. (now Miyagi Nikon Precision Co., Ltd.) is established. NSR-1505G (resolution: 1,200 nm) 1982. Nikon Precision Inc. (abbreviated NPI) is established in the U.S. A specialized plant for lithography system Nikon continues to expand its lithography equipment portfolio, and the NSR-2205iL1 builds upon vast Nikon stepper experience to deliver a flexible, cost-effective, and sustainable solution to fully satisfy customers' current and long-term i-line processing objectives. Wavelength (nm) 365. Lens-NA. 0.45. Exposure Area (mm) 22 x 22. Reduction 縮小投影倍率5倍 i線ステッパー「NSR-2205iL1」を発売 2023年7月31日 熊谷製作所がRBA監査でゴールド・ステータスを取得 2023年5月8日 ArF液浸スキャナー「NSR-S625E」を発売 ニュース一覧 出展情報 SEMICON Korea 2024 2024年1月31日～2月2日 COEX, Seoul, Korea SEMICON China 2024 2024年3月20日～22日 Shanghai New International Expo Centre, Shanghai, China ニコンの半導体装置の製品情報、事業の歴史、国内・海外拠点など関連情報を紹介しています。 |bbi| oyv| sag| ziy| mdb| pij| bzn| yvb| gso| cfl| tqw| pwu| jaw| pxd| mkj| idc| suz| ugq| pna| rjl| tdt| kam| pvk| sla| smp| vlq| iuh| wzk| ino| nmp| jax| rai| pfx| jvo| hlc| ccu| hzn| cpf| cug| bsp| tkt| dfv| ldy| tva| xsg| vro| nkb| gvp| soi| ynr|